EQUIPMENT
MAINTENANCE 機器メンテナンス

保守・点検・メンテナンスで
揺るぎない
安心・安全をサポート

施工後も保守・点検サービスを承っています。
半導体製造装置で使われる酸素濃度計の校正を実施。
また、半導体製造過程で使用される
排ガス処理装置の吸着剤も交換します。