TEC ENGINEERING.INC

CLEAN ROOM クリーンルーム

徹底した品質管理体制で
安心と安全を確かなものに。

2つのクリーンルームを所有し、目に見えない細菌や、
視認しにくい小さなホコリの製品付着を防止します。
商品の製造・開発において、徹底的な品質管理が可能です。

第一クリーンルーム

清浄度クラス1000を誇る116㎡のクリーンルームと、清浄度クラス10の28㎡のクリーンルームを備えています。ここでは、主に供給ガス配管の製作を行っています。

第一クリーンルーム仕様

気流方式
CR 水平層方式(CRブース 垂直層方式)
広さ
116㎡ (内、CRブース28㎡)
床⇔天井高さ
CR クラス 1000 (CRブース クラス 10)
クリーン度
3800 mm
清浄度管理
パーティクルカウンターによる定期測定、差圧計による陽圧・フィルタ目詰まり管理
FFU の運転制御
CR 床置き型 3台 (CRブース 32台)
温度、湿度管理
温湿度計2箇所設置(通常設定温度 24℃±2℃,湿度 成り行き)
酸素濃度計
有り(外部警報有り)
動力制御盤
クリーンルーム室外に設置

第二クリーンルーム

清浄度クラス1000の138㎡のクリーンルームを備えています。主に装置の改造等を行う際に使用されています。

第二クリーンルーム仕様

気流方式
垂直層流方式
広さ
138㎡(17500 mm × 7900 mm )
床下の高さ
Class1000 米国連邦規格 FED-STD-209D ( 0.5μm 1cft )
床⇔天井高さ
500 mm
クリーン度
3500 mm
清浄度管理
パーティクルカウンターによる定期測定、差圧計による陽圧・フィルタ目詰まり管理
FFU の運転制御
FFU 20台(8台・15台・20台運転可変)
温度、湿度管理
温湿度計3箇所設置(通常設定温度 24℃±2℃,湿度 成り行き )
酸素濃度計
有り(外部警報有り)
動力制御盤
クリーンルーム室外に設置